按照開展業務的地區劃分，09年日本市場比上年減少68.3％，為22億3000萬美元。日本市場08年為全球最大市場，但09年卻不抵韓國，市場規模排名第四。供貨額最大的是臺灣市場，比上年減少13.2％，為43億5000萬美元。占全球整體的27.3％。全球最大代工企業臺灣臺積電（TSMC）09年第四季度大幅增加此前一直控制的投資金額，對臺灣市場做出了貢獻。臺積電計劃2010年進行有史以來最大規模的投資，這樣估計臺灣市場將繼續帶動整個制造裝置市場的發展。